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5528A双频激光干涉仪在定位精度检测中的评定软件和扩展
更新时间：2026-07-30

    • 5528A双频激光干涉仪在定位精度检测中的评定软件和扩展

    • Issue 6, Pages: 26-27(2001)

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  • 盛志冲, 王晓勇, 徐伟, et al. 5528A双频激光干涉仪在定位精度检测中的评定软件和扩展[J]. 2001, (6): 26-27. DOI：

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