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EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量
更新时间：2026-07-30

    • EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量

    • Issue 5, Pages: 30-32(2008)

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  • 钟磊, 卢文壮, 左敦稳, et al. EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量[J]. 2008, (5): 30-32. DOI：

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