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无磨料化学机械抛光的研究进展
更新时间：2026-07-30

    • 无磨料化学机械抛光的研究进展

    • Issue 6, Pages: 5-8(2008)

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  • 李军, 左敦稳, 朱永伟, et al. 无磨料化学机械抛光的研究进展[J]. 2008, (6): 5-8. DOI：

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