哈尔滨理工大学 自动化学院,哈尔滨,150080
Published:2013
移动端阅览
LI Dong-jie, ZOU Jia-ou, SONG Jian, et al. 基于二维SEM图像的纳米操作三维信息提取[J]. 2013, 18(6): 29-033.
DOI:
LI Dong-jie, ZOU Jia-ou, SONG Jian, et al. 基于二维SEM图像的纳米操作三维信息提取[J]. 2013, 18(6): 29-033. DOI:
针对基于SEM的遥控纳米操作系统中快速有效的获取探针的平面及深度信息这一问题
提出了边缘检测算法+遍历比较+预测补偿的方法对探针的X-Y方向位置信息进行提取.通过对SEM二维图像隐含信息的统计分析
提出了基于兴趣区域的灰度方差统计对探针Z向位置(深度)进行提取的方法.最后
对某次纳米线转移实验中采集到的实时SEM图像进行探针针尖的x-y方向信息提取及Z向位置与图像方差进行MATLAB拟合
证明了上述方法的合理性及有效性. 更多还原
0
Views
1247
下载量
CSCD
Publicity Resources
Related Articles
Related Author
Related Institution