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偏心驱动下气浮支承精密运动平台的稳定性和精度分析
更新时间：2026-07-30

    • 偏心驱动下气浮支承精密运动平台的稳定性和精度分析

    • Vol. 43, Issue 1, Pages: 11-13+27(2014)

    • DOI：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2014.01.003    

      CLC：

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  • 左昊诚, 姜伟, 张鸣, et al. 偏心驱动下气浮支承精密运动平台的稳定性和精度分析[J]. 2014, 43(1): 11-13+27. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2014.01.003.

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