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溅射薄膜压力传感器敏感元件的制作工艺研究
更新时间：2026-07-30

    • 溅射薄膜压力传感器敏感元件的制作工艺研究

    • Vol. 45, Issue 4, Pages: 37-39+68(2016)

    • DOI：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2016.04.011    

      CLC：

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  • 蒋传生, 章恺. 溅射薄膜压力传感器敏感元件的制作工艺研究[J]. 2016, 45(4): 37-39+68. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2016.04.011.

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