Chinese
您当前的位置：
首页 >
文章列表页 >
基于Comsol的矩形磁控溅射靶磁场模拟与分析
更新时间：2026-07-30

    • 基于Comsol的矩形磁控溅射靶磁场模拟与分析

    • Vol. 50, Issue 1, Pages: 96-98+106(2021)

    • DOI：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2021.01.025    

      CLC：

    移动端阅览

  • 王雪, 程磊, 徐锋, et al. 基于Comsol的矩形磁控溅射靶磁场模拟与分析[J]. 2021, 50(1): 96-98+106. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2021.01.025.

  •  
  •  
icon
试读结束，您可以激活您的VIP账号继续阅读。
去激活 >
icon
试读结束，您可以通过登录账户，到个人中心，购买VIP会员阅读全文。
已是VIP会员？
去登录 >

0

Views

0

下载量

0

CSCD

Alert me when the article has been cited
提交
Tools
Export Citation
Share
Add to favorites
Add to my album

Related Articles

No data

Related Author

No data

Related Institution

No data
0