<正>天车系统的稳定运行需与集成电路产线生产工艺高度匹配。为保障生产效率与布局合理性,实地部署是天车系统厂商的核心服务之一。自动物料搬运系统(简称“天车系统”,A M HS)可大幅提升生产效率,是集成电路产线的关键组成部分,在国际先进的12英寸集成电路产线中已成为标配。天车系统技术研发与产业化应用对纳米级运行精度、全流程工艺适配度、全生命周期工程化研发有着极致严苛的要求。基于此,我们建议,我国应加快天车系统核心技术攻关,加强高质量专利布局,深化产用融合,加速国产设备落地应用,推动国产标准制定,助力我国集成电路制造业高质量发展。