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基于数据预处理的平面不确定度评定技术研究
更新时间:2026-09-04
    • 基于数据预处理的平面不确定度评定技术研究

    • Study on Technique in Flatness Uncertainty Based on Data Preprocessing

    • 微电子学与计算机   2010年27卷第9期 页码:147-150
    • 纸质出版:2010

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  • 王乔义, 黄美发, 李向前, 鲍家定. 基于数据预处理的平面不确定度评定技术研究[J]. 微电子学与计算机, 2010, 27(9): 147-150. DOI:

    WANG Qiao-yi, HUANG Mei-fa, LI Xiang-qian, et al. Study on Technique in Flatness Uncertainty Based on Data Preprocessing[J]. 2010, 27(9): 147-150. DOI:

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