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薄膜体声波谐振器电极效应研究
更新时间:2026-09-04
    • 薄膜体声波谐振器电极效应研究

    • Research on Electrode Effects of Thin Film Bulk Acoustic Resonator

    • 微电子学与计算机   2012年29卷第10期 页码:206-208
    • 纸质出版:2012

    移动端阅览

  • 张涛, 解忧, 刘婷, 周胜男. 薄膜体声波谐振器电极效应研究[J]. 微电子学与计算机, 2012, 29(10): 206-208. DOI:

    ZHANG Tao, JIE You, LIU Ting, et al. Research on Electrode Effects of Thin Film Bulk Acoustic Resonator[J]. 2012, 29(10): 206-208. DOI:

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