表面三维形貌测量及其评定的研究

朱健军; 钟渊; 刘泊

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表面三维形貌测量及其评定的研究

测控技术与通信工程 | 更新时间：2026-07-10

- 表面三维形貌测量及其评定的研究
- Measurement and Assessment Evaluation of the Three-dimensional Surface Topography
- 哈尔滨理工大学学报 2009年14卷第1期页码：43-46
- 作者机构：
  
  哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TG83
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
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朱健军, 钟渊, 刘泊. 表面三维形貌测量及其评定的研究[J]. 哈尔滨理工大学学报, 2009,14(1):43-46.

ZHU Jian-jun, ZHONG Yuan, LIU Bo. Measurement and Assessment Evaluation of the Three-dimensional Surface Topography[J]. 2009, 14(1): 43-46.
朱健军, 钟渊, 刘泊. 表面三维形貌测量及其评定的研究[J]. 哈尔滨理工大学学报, 2009,14(1):43-46. DOI：

ZHU Jian-jun, ZHONG Yuan, LIU Bo. Measurement and Assessment Evaluation of the Three-dimensional Surface Topography[J]. 2009, 14(1): 43-46. DOI：

摘要

对表面三维形貌测量技术展开了较为全面的研究

测量过程由相移

采样

相位提取及数据处理等部分组成.整个测量系统采用激光为干涉光源

CCD为图像传感器

压电陶瓷提供微小位移

通过图像采集卡将干涉条纹采集到计算机内存.文中采用上述理论对标准样块进行了测量

计算机得到表面三维形貌图

根据建立的基准面分离出粗糙度信息

并由给出的参数评定数学模型

编制出合理的软件

计算出零件表面的三维参数.最后给出实验结果和分析

并提出下一步研究工作的设想.

Abstract

In this thesis

the author comprehensively composed all-round research on the technology of surface topography measurement.The measure process includes phase-shifting

sample taking

extracting of phase

data handling.The entire measurement system used the laser as the light resource

CCD as the sensor and PZT to provide microscopic translating

the computer sampled image and processed data with high speed.Adopted the theory

the 3-D surface topography of standard specimen was carried out.Then we separated the inf...

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