1. 哈尔滨理工大学 自动化学院,黑龙江,哈尔滨,150080
2. 中华大学机械工程学系
纸质出版:2013
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吴勃, 陈俊宏. D-JADE混合产品批间控制技术[J]. 哈尔滨理工大学学报, 2013,18(4):25-30.
吴勃, 陈俊宏. D-JADE混合产品批间控制技术[J]. 2013, 18(4): 25-30.
吴勃, 陈俊宏. D-JADE混合产品批间控制技术[J]. 哈尔滨理工大学学报, 2013,18(4):25-30. DOI:
吴勃, 陈俊宏. D-JADE混合产品批间控制技术[J]. 2013, 18(4): 25-30. DOI:
针对混合产品半导体制程,采用了一种多重输入输出批间控制技术.该技术从目前的单机、单产品与单变量的批间控制技术,推广至多机、多产品与多变量的批间控制.所设计的DJADE控制器采用两个预测器,分别预测制程位移与漂移造成的扰动,然后对下一批次的制程输入做补偿控制,使制程输出控制在期望值.为了验证采用的控制算法,设计了半导体生产制程的干扰模型,并利用此模型对D JADE和D}WMA进行了仿真比较.由仿真结果可知,所采用的控制器比传统的D}WMA控制器具有更好的预测与控制效能.
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