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文林. 半导体工业技术有新突破[J]. 机械制造与自动化, 1997,(6):40.
文林. 半导体工业技术有新突破[J]. 1997, (6): 40.
文林. 半导体工业技术有新突破[J]. 机械制造与自动化, 1997,(6):40. DOI:
文林. 半导体工业技术有新突破[J]. 1997, (6): 40. DOI:
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