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EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量
机械制造与研究 | 更新时间：2026-07-30

    • EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量

    • EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量

    • 机械制造与自动化   2008年第5期 页码：30-32

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  • 钟磊, 卢文壮, 左敦稳, 等. EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量[J]. 机械制造与自动化, 2008,(5):30-32. DOI：

    钟磊, 卢文壮, 左敦稳, et al. EACVD金刚石膜沉积设备衬底温度的测量[J]. 2008, (5): 30-32. DOI：

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