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无磨料化学机械抛光的研究进展
综述与展望 | 更新时间：2026-07-30

    • 无磨料化学机械抛光的研究进展

    • 无磨料化学机械抛光的研究进展

    • 机械制造与自动化   2008年第6期 页码：5-8

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  • 李军, 左敦稳, 朱永伟, 等. 无磨料化学机械抛光的研究进展[J]. 机械制造与自动化, 2008,(6):5-8. DOI：

    李军, 左敦稳, 朱永伟, et al. 无磨料化学机械抛光的研究进展[J]. 2008, (6): 5-8. DOI：

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