基于二维SEM图像的纳米操作三维信息提取

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计算机与控制工程 | 更新时间：2026-08-31

- 基于二维SEM图像的纳米操作三维信息提取
- 基于二维SEM图像的纳米操作三维信息提取
- 哈尔滨理工大学学报 2013年18卷第6期页码：29-033
- 作者机构：
  
  哈尔滨理工大学自动化学院,哈尔滨,150080
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP249
- 纸质出版：2013
- 稿件说明：
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李东洁, 邹佳鸥, 宋鉴, 等. 基于二维SEM图像的纳米操作三维信息提取[J]. 哈尔滨理工大学学报, 2013,18(6):29-033.

LI Dong-jie, ZOU Jia-ou, SONG Jian, et al. 基于二维SEM图像的纳米操作三维信息提取[J]. 2013, 18(6): 29-033.
李东洁, 邹佳鸥, 宋鉴, 等. 基于二维SEM图像的纳米操作三维信息提取[J]. 哈尔滨理工大学学报, 2013,18(6):29-033. DOI：

LI Dong-jie, ZOU Jia-ou, SONG Jian, et al. 基于二维SEM图像的纳米操作三维信息提取[J]. 2013, 18(6): 29-033. DOI：

针对基于SEM的遥控纳米操作系统中快速有效的获取探针的平面及深度信息这一问题

提出了边缘检测算法+遍历比较+预测补偿的方法对探针的X-Y方向位置信息进行提取.通过对SEM二维图像隐含信息的统计分析

提出了基于兴趣区域的灰度方差统计对探针Z向位置(深度)进行提取的方法.最后

对某次纳米线转移实验中采集到的实时SEM图像进行探针针尖的x-y方向信息提取及Z向位置与图像方差进行MATLAB拟合

证明了上述方法的合理性及有效性. 更多还原

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