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小型化热丝CVD金刚石膜沉积设备的研究与开发
机械制造与研究 | 更新时间：2026-07-30

    • 小型化热丝CVD金刚石膜沉积设备的研究与开发

    • 小型化热丝CVD金刚石膜沉积设备的研究与开发

    • 机械制造与自动化   2010年39卷第2期 页码：35-38+79

    • DOI：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2010.02.008    

      中图分类号：

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  • 吴小军, 左敦稳, 徐锋, 等. 小型化热丝CVD金刚石膜沉积设备的研究与开发[J]. 机械制造与自动化, 2010,39(2):35-38+79. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2010.02.008.

    吴小军, 左敦稳, 徐锋, et al. 小型化热丝CVD金刚石膜沉积设备的研究与开发[J]. 2010, 39(2): 35-38+79. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2010.02.008.

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