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ZnO压电薄膜微悬臂梁的结构设计及研究
机械制造 | 更新时间：2026-07-30

    • ZnO压电薄膜微悬臂梁的结构设计及研究

    • ZnO压电薄膜微悬臂梁的结构设计及研究

    • 机械制造与自动化   2013年42卷第1期 页码：31-32+62

    • DOI：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2013.01.009    

      中图分类号：

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  • 张敏亮, 谭晓兰, 王峰. ZnO压电薄膜微悬臂梁的结构设计及研究[J]. 机械制造与自动化, 2013,42(1):31-32+62. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2013.01.009.

    张敏亮, 谭晓兰, 王峰. ZnO压电薄膜微悬臂梁的结构设计及研究[J]. 2013, 42(1): 31-32+62. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2013.01.009.

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