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用于硅片检测的精密直线运动平台的设计与实现
机械制造与研究 | 更新时间：2026-07-30

    • 用于硅片检测的精密直线运动平台的设计与实现

    • 用于硅片检测的精密直线运动平台的设计与实现

    • 机械制造与自动化   2014年43卷第1期 页码：23-27

    • DOI：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2014.01.007    

      中图分类号：

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  • 汪家胜, 金建新, 周振华, 等. 用于硅片检测的精密直线运动平台的设计与实现[J]. 机械制造与自动化, 2014,43(1):23-27. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2014.01.007.

    汪家胜, 金建新, 周振华, et al. 用于硅片检测的精密直线运动平台的设计与实现[J]. 2014, 43(1): 23-27. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2014.01.007.

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