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基于超声辅助的UV-LIGA光栅制备技术研究
电气与自动化 | 更新时间：2026-07-30

    • 基于超声辅助的UV-LIGA光栅制备技术研究

    • 基于超声辅助的UV-LIGA光栅制备技术研究

    • 机械制造与自动化   2014年43卷第2期 页码：163-166

    • DOI：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2014.02.048    

      中图分类号：

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  • 成杰, 李寒松, 朱荻. 基于超声辅助的UV-LIGA光栅制备技术研究[J]. 机械制造与自动化, 2014,43(2):163-166. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2014.02.048.

    成杰, 李寒松, 朱荻. 基于超声辅助的UV-LIGA光栅制备技术研究[J]. 2014, 43(2): 163-166. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2014.02.048.

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