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溅射薄膜压力传感器敏感元件的制作工艺研究
机械制造 | 更新时间：2026-07-30

    • 溅射薄膜压力传感器敏感元件的制作工艺研究

    • 溅射薄膜压力传感器敏感元件的制作工艺研究

    • 机械制造与自动化   2016年45卷第4期 页码：37-39+68

    • DOI：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2016.04.011    

      中图分类号：

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  • 蒋传生, 章恺. 溅射薄膜压力传感器敏感元件的制作工艺研究[J]. 机械制造与自动化, 2016,45(4):37-39+68. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2016.04.011.

    蒋传生, 章恺. 溅射薄膜压力传感器敏感元件的制作工艺研究[J]. 2016, 45(4): 37-39+68. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2016.04.011.

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