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六级杆离子传输系统射频电源控制设计
电气与自动化 | 更新时间：2026-07-30

    • 六级杆离子传输系统射频电源控制设计

    • 六级杆离子传输系统射频电源控制设计

    • 机械制造与自动化   2020年49卷第2期 页码：221-224

    • DOI：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2020.02.053    

      中图分类号：

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  • 任标, 张超凡, 贺飞耀, 等. 六级杆离子传输系统射频电源控制设计[J]. 机械制造与自动化, 2020,49(2):221-224. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2020.02.053.

    任标, 张超凡, 贺飞耀, et al. 六级杆离子传输系统射频电源控制设计[J]. 2020, 49(2): 221-224. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2020.02.053.

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