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基于Comsol的矩形磁控溅射靶磁场模拟与分析
信息技术 | 更新时间：2026-07-30

    • 基于Comsol的矩形磁控溅射靶磁场模拟与分析

    • 基于Comsol的矩形磁控溅射靶磁场模拟与分析

    • 机械制造与自动化   2021年50卷第1期 页码：96-98+106

    • DOI：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2021.01.025    

      中图分类号：

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  • 王雪, 程磊, 徐锋, 等. 基于Comsol的矩形磁控溅射靶磁场模拟与分析[J]. 机械制造与自动化, 2021,50(1):96-98+106. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2021.01.025.

    王雪, 程磊, 徐锋, et al. 基于Comsol的矩形磁控溅射靶磁场模拟与分析[J]. 2021, 50(1): 96-98+106. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2021.01.025.

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