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基体偏压对Cr/DLC薄膜结构及力学性能的影响
机械制造 | 更新时间：2026-07-30

    • 基体偏压对Cr/DLC薄膜结构及力学性能的影响

    • 基体偏压对Cr/DLC薄膜结构及力学性能的影响

    • 机械制造与自动化   2022年51卷第1期 页码：7-10

    • DOI：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2022.01.002    

      中图分类号：

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  • 贾昆鹏, 徐锋, 赵延超, 等. 基体偏压对Cr/DLC薄膜结构及力学性能的影响[J]. 机械制造与自动化, 2022,51(1):7-10. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2022.01.002.

    贾昆鹏, 徐锋, 赵延超, et al. 基体偏压对Cr/DLC薄膜结构及力学性能的影响[J]. 2022, 51(1): 7-10. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2022.01.002.

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