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单晶硅表面微结构纳秒脉冲激光加工研究
机械制造 | 更新时间：2026-07-30

    • 单晶硅表面微结构纳秒脉冲激光加工研究

    • 单晶硅表面微结构纳秒脉冲激光加工研究

    • 机械制造与自动化   2022年51卷第1期 页码：23-26

    • DOI：10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2022.01.006    

      中图分类号：

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  • 储成龙, 汪奇文, 张振, 等. 单晶硅表面微结构纳秒脉冲激光加工研究[J]. 机械制造与自动化, 2022,51(1):23-26. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2022.01.006.

    储成龙, 汪奇文, 张振, et al. 单晶硅表面微结构纳秒脉冲激光加工研究[J]. 2022, 51(1): 23-26. DOI： 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2022.01.006.

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