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磁控溅射GeSbTe相变薄膜黏附与摩擦特性
更新时间：2026-08-12

    • 磁控溅射GeSbTe相变薄膜黏附与摩擦特性

    • Adhesion and friction properties of GeSbTe phase change films prepared by magnetron sputtering

    • 江苏大学学报（自然科学版）   2012年33卷第1期

    • DOI：10.3969/j.issn.1671-7775.2012.01.019    

      中图分类号：

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  • 付永忠, 程广贵, 王权. 磁控溅射GeSbTe相变薄膜黏附与摩擦特性[J]. 江苏大学学报（自然科学版）, 2012,33(1). DOI： 10.3969/j.issn.1671-7775.2012.01.019.

    付永忠, 程广贵, 王权. Adhesion and friction properties of GeSbTe phase change films prepared by magnetron sputtering[J]. Journal of jiangsu University(Natural Science Edition), 2012, 33(1). DOI： 10.3969/j.issn.1671-7775.2012.01.019.

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