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AlN-MOCVD生长中气相寄生反应路径
更新时间：2026-07-27

    • AlN-MOCVD生长中气相寄生反应路径

    • Gasphase parasitic reaction pathways in AlN-MOCVD growth

    • 江苏大学学报（自然科学版）   2020年41卷第5期

    • DOI：10.3969/j.issn.1671-7775.2020.05.012    

      中图分类号：

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  • 仲婷婷, 左然. AlN-MOCVD生长中气相寄生反应路径[J]. 江苏大学学报（自然科学版）, 2020,41(5). DOI： 10.3969/j.issn.1671-7775.2020.05.012.

    仲婷婷, 左然. Gasphase parasitic reaction pathways in AlN-MOCVD growth[J]. Journal of jiangsu University(Natural Science Edition), 2020, 41(5). DOI： 10.3969/j.issn.1671-7775.2020.05.012.

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